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解析丨ITO导电膜的工作原理

日期:2024-05-18 16:56
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摘要: 解析丨ITO导电膜的工作原理 需要增透减反技术可以联系我们上海工厂18917106313 上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件的高科技企业,公司2005年成立在上海闵行零号湾创业园区,专业的光电镀膜公司,技术背景依托中国科学院,卷柔产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工;光学透镜、反射镜、棱镜,平板显示,安防监控等光学镀膜产品的开发和生产,为全球客户提供上等的产品和服务。 所谓ITO导电膜,指的就是一种透明茶色或黄偏灰色的薄膜状氧化铟锡膜,核心成分就是90%的In2...

解析丨ITO导电膜的工作原理

需要增透减反技术可以联系我们上海工厂18917106313

上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件的高科技企业,公司2005年成立在上海闵行零号湾创业园区,专业的光电镀膜公司,技术背景依托中国科学院,卷柔产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工;光学透镜、反射镜、棱镜,平板显示,安防监控等光学镀膜产品的开发和生产,为全球客户提供上等的产品和服务。

所谓ITO导电膜,指的就是一种透明茶色或黄偏灰色的薄膜状氧化铟锡膜,核心成分就是90%的In2O3和10%的SnO2。

由于ITO导电膜是一种电学传导和光学透明的组合材料,所以它天然地适用于液晶显示器、平板显示器、触控屏幕等诸多科技产品。

ITO膜为什么可以导电

从物理学上讲,氧化铟锡膜是一种直接跃迁宽禁带半导体材料,其晶体结构是立方铁锰矿结构。由于在In2O3形成过程中没有构成完整的理想化学配比结构,结晶结构中缺少氧原子(氧空位),因此存在过剩的自由电子,这使得ITO膜具备了一定的电子导电性。

同时,如果利用高价的阳离子如Sn掺杂在In2O3晶格中代替In^3+的位置,则会增加自由导电电子的浓度,进而提高氧化铟的导电性。在ITO薄膜中,Sn一般以Sn^2+或Sn^4+的形式存在,由于In在In2O3中是正三价,Sn^4+的存在将提供一个电子到导带,相反Sn^2+的存在将降低导带中电子的密度。

如何解决暗色ITO膜透过率低的问题

ITO膜的颜色是茶色或黄偏灰色,这主要是因为SnO材料本身是暗褐色。也正因为此,ITO膜对可见光的透过率较差。进而,在低温沉积过程中,Sn在ITO中主要以SnO的形式存在,导致较低的载流子浓度和高的膜电阻。

目前,比较常用的方法是退火处理。这样做的好处是,一方面能促使SnO向SnO2转变,使薄膜进一步氧化,另一方面促使薄膜中多余的氧脱附,从而降低膜电阻,提高ITO膜透过率。(文章来源:苏州尚阳科技

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上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件的高科技企业,公司2005年成立在上海闵行零号湾创业园区,专业的光电镀膜公司,技术背景依托中国科学院,卷柔产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工;光学透镜、反射镜、棱镜,平板显示,安防监控等光学镀膜产品的开发和生产,为全球客户提供上等的产品和服务。

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